Листовий опір має розміри Ω/кв. Чиста концентрація іонізованого легування визначається як N(z) = |NА(z) – NД(z)|, де NА і НД є іонізованою концентрацією акцепторних і донорних атомів. У випадку кремнієвого напівпровідника акцепторами є атоми бору, а донорами — атоми фосфору.
Опір листа є опір квадратного шматка тонкого матеріалу з контактами, зробленими до двох протилежних сторін квадрата.
Якщо ви розглядаєте електричний струм, що протікає через поверхню, то поверхневий питомий опір (Rs), також відомий як листовий опір, можна описати як відношення падіння постійної напруги на одиницю довжини до поверхневого струму на ширину [3].
Питомий опір = 1,0 / провідність. Стандартна одиниця питомого опору – Ом-см. Опір листа при постійному струмі = 1,0 / (провідність * товщина)
Опір металевого листа постійному струму визначається як R=ρ*L/A де ρ — питомий опір, L — довжина разом із струмом, а A — поперечний переріз. Якщо лист має товщину T і ширину W, тоді A=W*T, звідки: R=ρ*L/(W*T).
Опір листів зазвичай коливається від 1 мОм/кв для товстих шарів до 100 Ом/кв для тонких металевих плівок. Плівки з низькопровідних сплавів, таких як тантал-сіліцій-нітрид, можуть мати опір до 1 кОм/кв.