Хімічне сухе травлення: процес хімічного сухого травлення зазвичай є ізотропним і демонструє високу вибірковість. Анізотропне сухе травлення має можливість травлення з кращою роздільною здатністю та вищим співвідношенням сторін, ніж ізотропне травлення. Завдяки спрямованому характеру сухого травлення можна уникнути підрізання.
Механізми травлення: ізотропне травлення передбачає видалення матеріалу в усіх напрямках з однаковою швидкістю, створюючи заокруглений профіль. Тим часом анізотропне травлення видаляє матеріал уздовж певних кристалографічних площин, утворюючи гострі кути та краї.
Анізотропне травлення відбувається, коли матеріал на одній площині видаляється з більшою швидкістю, ніж матеріал на іншій площині. Різниця найбільш очевидна щодо форми каналу та співвідношення сторін.
Ізотропне травлення є метод, який зазвичай використовується в напівпровідниках для видалення матеріалу з підкладки за допомогою хімічного процесу з використанням речовини для травлення. Травник може бути в рідкій, газовій або плазмовій фазі, хоча частіше використовуються рідкі травилки, такі як буферна плавикова кислота (BHF) для травлення діоксидом кремнію.
Коли властивості матеріалу змінюються залежно від кристалографічної орієнтації, матеріал називають анізотропним. З іншого боку, коли властивості матеріалу однакові в усіх напрямках, матеріал називають ізотропним.
Ізотропність відноситься до властивостей матеріалу, які не залежать від напрямку, тоді як анізотропність залежить від напрямку. Ці два терміни використовуються для пояснення властивостей матеріалу в основній кристалографії.